近日，西安交通大學(xué)分析測(cè)試技術(shù)論壇 101 期 -- 離子研磨技術(shù)助力高質(zhì)量 SEM 樣品制備，在創(chuàng)新港校區(qū)大型儀器設(shè)備共享實(shí)驗(yàn)中心成功舉辦！本次論壇吸引了眾多材料科學(xué)、電子顯微鏡領(lǐng)域的專家和研究人員，共同探討了離子研磨技術(shù)在掃描電鏡（SEM）樣品制備中的應(yīng)用與發(fā)展。

西交大“分析測(cè)試中心” 為校內(nèi)外師生提供集分析測(cè)試、綜合咨詢、技能培訓(xùn)、方法創(chuàng)新為一體的綜合技術(shù)服務(wù)。中心設(shè)立微區(qū)分析、無(wú)機(jī)分析、有機(jī)分析、物性分析四大功能方向，面向全社會(huì)提供基于設(shè)備技術(shù)聯(lián)用的材料構(gòu)效分析服務(wù)，涵蓋材料微觀結(jié)構(gòu)與形貌、無(wú)機(jī)/有機(jī)材料成分與結(jié)構(gòu)及材料性能等。中心建筑面積 1.2 萬(wàn)平米，大型設(shè)備 101 臺(tái)套，價(jià)值 2.65 億元。

PART01 專家分享 -- 深入剖析離子研磨技術(shù)

來(lái)自復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“復(fù)納科技”）的離子研磨儀產(chǎn)品專家朱俊文，詳細(xì)介紹了匈牙利 Technoorg Linda 離子研磨的工作原理，闡述了氬離子加工技術(shù)如何通過(guò) Ar 離子束的能量在材料表面進(jìn)行微觀改性，實(shí)現(xiàn)高精度、高效率且無(wú)機(jī)械損傷的樣品表面處理。他指出，與傳統(tǒng)的機(jī)械拋光相比，離子束拋光后的表面更加平整光滑，能夠更好地呈現(xiàn)樣品的真實(shí)信息，為后續(xù)的掃描電鏡（SEM）分析提供更可靠的依據(jù)。

應(yīng)用案例

在樣品傾斜角小于 10 ° 且連續(xù)旋轉(zhuǎn)的條件下進(jìn)行加工

此外，朱老師還重點(diǎn)探討了掃描電鏡與離子研磨的聯(lián)用技術(shù)。通過(guò)實(shí)際案例展示了離子研磨后的樣品在掃描電鏡下的優(yōu)異表現(xiàn)，以及如何通過(guò)離子研磨技術(shù)改善樣品的表面質(zhì)量，從而提高掃描電鏡分析的準(zhǔn)確性和可靠性。

PART02 現(xiàn)場(chǎng)制樣 -- 直觀感受技術(shù)優(yōu)勢(shì) 

論壇當(dāng)天，復(fù)納科技現(xiàn)場(chǎng)征集了 10 個(gè)樣品，免費(fèi)為參會(huì)人員進(jìn)行制樣。這一環(huán)節(jié)讓參會(huì)人員有機(jī)會(huì)親眼目睹離子研磨技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用效果，直觀感受其在樣品制備中的優(yōu)勢(shì)。在制樣過(guò)程中，從樣品的放置、離子束參數(shù)的調(diào)整到研磨過(guò)程的監(jiān)控等環(huán)節(jié)進(jìn)行了細(xì)致的講解，并解釋了每個(gè)步驟的目的和意義。

 使用 Technoorg Linda 離子研磨儀制樣過(guò)程

制樣完成后，參會(huì)人員現(xiàn)場(chǎng)觀看了樣品的掃描電鏡圖像，對(duì)比了離子研磨前后的表面差異，進(jìn)一步加深了對(duì)離子研磨技術(shù)的認(rèn)識(shí)。朱老師還分享了一些常見(jiàn)問(wèn)題的解決方法和操作技巧，使參會(huì)人員對(duì)離子研磨操作有了更清晰的認(rèn)識(shí)和更深入的理解。

同時(shí)，為了更好地反饋制樣效果，復(fù)納科技還為每個(gè)制備的樣品免費(fèi)進(jìn)行了 EBSD 表征。EBSD 表征結(jié)果顯示，經(jīng)過(guò)離子研磨處理的樣品表面質(zhì)量顯著提高，晶粒結(jié)構(gòu)清晰可見(jiàn)，為后續(xù)的材料性能分析提供了有力支持。這一環(huán)節(jié)不僅展示了離子研磨技術(shù)在樣品制備中的高效性和可靠性，也讓參會(huì)人員對(duì)復(fù)納科技的技術(shù)實(shí)力和服務(wù)質(zhì)量有了更深刻的印象。

PART03 展望未來(lái)合作與發(fā)展 

隨著本次論壇的圓滿結(jié)束，參會(huì)人員紛紛表示收獲頗豐。對(duì)離子研磨技術(shù)在掃描電鏡（SEM）樣品制備中的應(yīng)用有了更深入的理解，對(duì)復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司的技術(shù)實(shí)力和服務(wù)質(zhì)量也給予了高度評(píng)價(jià)。

通過(guò)本次活動(dòng)，不僅成功推廣了離子研磨技術(shù)，還與西安交通大學(xué)大型儀器設(shè)備共享實(shí)驗(yàn)中心建立了更緊密的合作關(guān)系，為未來(lái)的合作與發(fā)展奠定了良好的基礎(chǔ)。